低温液体泵主要分离心泵和柱塞泵，离心泵流量大、压力较低，柱塞泵流量小、压力高。制氧厂应用较广，主要用于：带液氧吸附器或上下塔分开流程中的循环液氧泵；无氢制氩流程中的循环粗液氩泵(粗氩塔太高还需液空泵)；内压缩流程中的产品液氧、液氮、液氩泵(一般流量较低，用柱塞泵。)；灌装冲瓶泵(柱塞泵)；槽车冲装泵；调峰供气泵等。